물질에 X-선을 입사시키면 각각의 원자로부터 산란파가 서로 간섭 현상을 일으켜 특정한 방향으로만 회절파가 발생하는데, 이를 X-선 회절현상이라 한다. X-선 회절의 강도와 진행 방향은 물질을 구성하는 원자의 종류와 배열 상태에 따라 달라진다. 그러한 특징을 이용하여 X-선을 조사함으로써 물질의 미세한 구조를 알 수 있다. 본 XRD는 저각측정, 미소영역 측정 및 texture 분석 등에 이용된다.
