시료의 표면미세구조를 분석하는 전자현미경으로 모든 in lens detector SE, BSE가 ON AXIS에 놓여 있어 모든 신호를 어떠한 변환 없이 실시간으로 획득하여 실험의 정확성을 확보할 수 있다. high angle BSE의 energy를 분리하여 이미지하고 low angle BSE를 검출하여 대상의 crystallographic information을 획득할 수 있으며 고분해능으로 이미지할 수 있다.

Resolution : 0.8nm at 15KV, 1.6nm at 1KV

Emitter : Thermal field emission type, stability > 0.2%/h

Voltage contrast

Edge contrast

Extrem ppm level compositional contrast

Low Loss BSE