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공용장비현황

X-선 광전자분광기의 사진
모델명
ESCALAB 210
기기상태
사용중
담당자
채홍철
E-mail
boihong@cbnu.ac.kr
위치
112호
전화번호
043-261-3153
제작사
VG Science

원리 및 특성

광전자분광기는 시료의 표면에 특성 X-선을 입사하고, 이때 방출하는 광전자의 에너지를 측정함으로써 시료표면의 조성 및 화학적인 결합상태를 알 수 있다. 에너지원으로 X-선을 사용함으로써 절연체에 적용이 가능함으로 도체 및 반도체 절연박막의 분석에 있어 큰 장점을 가지고 있다. 또한 이온빔으로 표면을 식각하여 깊이에 따른 분포도를 측정할 수 있다.

주요성능

● 금속 및 반도체 순수 표면의 상전이에 따른 전자 구조의 변화
● 재배열 원자들의 전하분포 및 결합 에너지 변화
● 기체 및 금속이 흡착된 반도체와 금속표면에서의 반응성 및 결합 상태에 따른 전자구조
● 자성체 초박막 및 에피 박막의 전자에너지 분포
● Submicro 이하의 국소 영역의 성분 분석
● Depth profile을 통한 박막의 성장 메카니즘 규명
● 표면원소에 대한 정량 분석

응용분야

● 제작사 : VG Science
● 모 델 명 : ESCALAB 210
● 주요성능
- 에너지 분해능 : 0.5eV
- 분석면적 : 직경 150㎛ 이상
- X-ray source : Mg (1253.6eV) / Al (1486.6eV)
● 도입년도 및 금액 : 1993년 / 7억 5천만원