라만 분광기(Raman spectroscopy)는 시료에 레이저를 조사하면 라만 산란광이(Raman Scattering) 발생하고 물질마다 다른 파장을 가지고 있다. 그 고유한 스펙트럼을 이용해서 재료를 분석하는 장비이다. 라만스펙트럼의 peak position 및 intensity를 이용해서 물질의 정성 및 정량분석이 가능하고, peak의 shift및 폭을 이용해서 stress 및 crystallinity를 알 수 있다.
MicroRaman을 이용해서 고분해능 XY imaging을 빠른 시간에 얻을 수 있고, 공초점(Confocal) 측정으로 시료를 파괴하지 않고 시료 내부의 라만 이미지를 얻을 수 있다.