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공용장비현황

접촉식표면단차측정기(알파스텝)의 사진
모델명
P7
기기상태
사용중
담당자
허민선
E-mail
mshur@cbnu.ac.kr
위치
316호
전화번호
043-261-3125
제작사
KLA Tencor

원리 및 특성

시료 표면을 마이크로미터 반경의 팁을 이용하여 접촉식 스캔함으로써 시료 표면에 존재하는

단차 및 거칠기를 0.1 Å 이상의 분해능으로 측정하는 고정밀 기기

주요성능

○ Step Height Repeatability : 4 Å (≦1 ㎛)

○ Reproducibility : 15.0 Å (≦1 ㎛) or 0.25 %(1σ)

○ Vertical Resolution : 0.1 Å

○ Scan Length : 150 ㎜

○ Vertical Length : 131 ㎛

○ Sample Size : 150 ㎜

○ Scan Speed : 2 ㎛/sec ∼ 25 ㎜/sec

○ Scan Method : Linear Scan

○ Low Force : 0.03 ㎎

응용분야

○ 일반 기계 가공면, 금형 표면 Laser Making 검사

○ 디스플레이 소자(PDP, LCD) 표면의 형상 측정

○ 연질재료의 표면 형상 측정

○ CVD, PVD 코팅층의 형상 측정

○ GLASS 박막두께 및 표면 조도측정