주사탐침현미경은 STM과 AFM을 통칭하여 부르는 용어이다. STM은 최초로 개발된 주사탐침현미경으로써 시료와 탐침(probe)과의 거리가 매우 근접되었을 때 시료와 탐침 사이에 흐르는 턴널(Tunnel) 전류를 이용하여 시료표면의 궤적을 주사하여 형상화 하는 기기이다. AFM은 잘 휘는 지렛대 끝에 달려있는 뾰족한 팁과 시료표면간에 원자력 즉 인력 및 척력이 작용하는데, 이러한 상호 작용 때문에 지렛대가 휘게 되고, 그 휘는 정도를 레이저 광의 굴절을 통해서 표면 정보를 얻는다. 최근에 와서 NSOM, NSSIM 등 AFM과 접목된 새로운 차원의 현미경 기능이 추가됨으로써 수 년전부터 세계적으로 통칭하여 SPM(Scanning Probe Microscope)으로 불리운다.

○ 스캔범위(X,Y,Z) : 90 x 90 x 10 um
○ 수평분해능 : 0.1 nm
○ 수직분해능 : 0.01 nm
○ 샘플크기 : Φ210 mm x 15 mm
○ 측정모드 : AFM, MFM, EFM, LFM, Lift Mode, Fluid Imaging

○ 표면 구조 분석
○ 표면의 물리적 성질 분석
○ DNA，단백질, 세포막 항체 표면 분석