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가족회사와 상생협력하는 대학, 충북대학교 기업지원센터

공용장비현황1(공동실험실습관)

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전계방사형주사전자현미경의 사진

  • 모델명ULRA PLUS
  • 기기상태사용중
  • 담당자이정희
  • E-mailjhlee1@cbnu.ac.kr
  • 위치108호
  • 전화번호043-261-2940
  • 제작사
원리 및 특성
시료의 표면미세구조를 분석하는 전자현미경으로 모든 in lens detector SE, BSE가 ON AXIS에 놓여 있어 모든 신호를 어떠한 변환 없이 실시간으로 획득하여 실험의 정확성을 확보할 수 있다. high angle BSE의 energy를 분리하여 이미지하고 low angle BSE를 검출하여 대상의 crystallographic information을 획득할 수 있으며 고분해능으로 이미지할 수 있다.
주요성능
Resolution : 0.8nm at 15KV, 1.6nm at 1KV

Emitter : Thermal field emission type, stability > 0.2%/h
응용분야
Voltage contrast

Edge contrast

Extrem ppm level compositional contrast

Low Loss BSE
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