라만 분광기(Raman spectroscopy)는 시료에 레이저를 조사하면 라만 산란광이(Raman Scattering) 발생하고 물질마다 다른 파장을 가지고 있다. 그 고유한 스펙트럼을 이용해서 재료를 분석하는 장비이다. 라만스펙트럼의 peak position 및 intensity를 이용해서 물질의 정성 및 정량분석이 가능하고, peak의 shift및 폭을 이용해서 stress 및 crystallinity를 알 수 있다.

MicroRaman을 이용해서 고분해능 XY imaging을 빠른 시간에 얻을 수 있고, 공초점(Confocal) 측정으로 시료를 파괴하지 않고 시료 내부의 라만 이미지를 얻을 수 있다.

- Laser : 405 nm, 532 nm, 785 nm

- Grating : 300 gr/mm, 600 gr/mm, 2400 gr/mm
- Spatial resolution(X/Y/Z) : 0.35 ㎛ x 0.5 ㎛ x 1.0 ㎛

- Slit width / Pinhole (Auto switch) : 20/30/50/70/100/200 micron

- Laser illumination method: Point / Line illumination

- 라인 주사로 한번에 400개의 스펙트럼을 동시에 측정

- Beam scanning 방식

•Raman applications

◦ Silicon/Semiconductor – Crystallinity, Stress, failure analysis …

◦ Secondary Battery – 양극제, 음극제 및 전해액, In-situ, Crystallinity …

◦ Carbon Materials- Amorphous Carbon, Graphite, Graphene, CNT, Diamond, DLC …

◦ Inorganic Compounds

◦ Minerals

◦ Polymer / Resin

◦ Bio / Pharmaceutical

◦ Foods / Environment