오제이전자분광기는 시료표면에 특성 전자빔(3~25eV)을 입사하고, 이때 방출하는 Auger 전자를 측정함으로써 시료표면의 조성 및 화학적인 결합상태를 알 수 있다. 에너지원으로 electron이 사용되어 도체 및 반도체에 적용이 가능함으로 도체 및 반도체 박막의 분석에 큰 장점을 가지고 있으며, electron beam의 크기가 조절 가능하므로 국소영역의 분석도 가능하다. 또한 이온빔으로 표면을 식각하여 깊이에 따른 분포도를 측정할 수 있다.