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공용장비현황

고분해능 X-선 회절분석기의 사진
모델명
X'Pert PRO MRD
기기상태
사용중
담당자
김동현
E-mail
kdh@cbnu.ac.kr
위치
117호
전화번호
043-261-3120
제작사
PANAnalytical

원리 및 특성

X-선과 물질의 상호작용 중 회절 및 반사측정을 통해 물질구조를 분석하고 결정구조에 대한 정성 및 정량 분석, 다결정 다반사에 의한 고분해능 광학계, 반사측정을 통한 단/다층 박막의 밀도, 거칠기 및 두께 분석, Pre-Fix개념을 갖는 다양한 분해능의 Channel Cut Crystal과 Analyzer Crystal을 보유하여 결정성에 따른 분해능 선택이 가능하다.

주요성능

● 제작사 : PANAnalytical
● 모델명 : X'Pert PRO MRD
● 주요성능
- X-ray generator : 3kW
- Special LFF Cu anode
- 4-bounce crystal (Ge(220)
- Hybrid (Mirror + Ge(220))
- Analyzer crystal (3-bounce Ge(220))
- Eulerian cradle (2ß^, Omega, Psi, Phi, X, Y, Z)
- Thin film attachment (flat graphite monochromator, parallel plate collimator)
- Fixed/programmable divergence (Receiving) Slit (curved graphite monochromator)
- Fixed/programmable anti-scattering slit

응용분야

● 고분해능 X-선 회절에 의한 반도체 및 산화물 박막에 대한 구조특성 측정 및 해석
- Epitaxy의 mismatch, composition, thickness
- Super lattice 박막, 역격자 공간 산란분포(RSM) 측정
● Residual stress 측정 및 texture 분석
● X-선 반사를 이용한 박막의 두께, 거칠기 및 밀도 측정