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공용장비현황

나노인덴터의 사진
모델명
MTS XP
기기상태
사용중
담당자
허민선
E-mail
mshur@cbnu.ac.kr
위치
316호
전화번호
043-261-3125
제작사
MTS Systems Corporation

원리 및 특성

미소압자를 이용하여 압입 또는 긁기를 수행하여 힘과 변위를 측정한 후, 그로부터 박막이나 미세소자의 기계적 물성을 얻는다. 기본적으로 탄성계수, 경도 등을 측정할 수 있으며 CSM(Continuous Stiffness Measurement) 모듈 추가를 통하여 깊이에 따른 물성과 크립 현상을 측정할 수 있다.

주요성능

● 박막의 항복강도, 가공경화 실험
● 박막의 모재간 접합강도 연구

- 최대 하중 500mN, 힘 측정 분해능 50nN
- 최대 압입 길이 500um, 변위 측정 분해능 0.01nm
- CSM모듈 특성 : 주파수 0.05~200Hz, 진폭 60~300nN
- 측정된 데이터를 분석 및 변환할 수 있는 소프트웨어 및 하드웨어 포함

응용분야

● 박막의 항복강도, 가공경화 실험
● 박막의 모재간 접합강도 연구