나노인덴터 및 스크래치시험기는 미소압자로 시료를 압입하거나 긁어서 힘과 변위를 측정한 후에 그 결과를 처리하여 박막이나 미세소자의 물리적 특성을 분석하는 기기이다. 기본적으로 탄성률, 경도, 항복 강도, 파괴 인성, 스크래치 경도 및 마모 특성 등을 측정할 수 있으며 연속압입 시험법으로 깊이에 따른 물성과 크립 현상을 분석할 수 있다.

○ Indenter

- Loading Control Method : Piezo actuator

- Load Range : 10 uN ~ 50 mN

- Load Resolution : 6 nN

- Displacement Range : ~ 50 um (Resolution : 0.003 nm)

- Dynamic Mode : Up to 200 Hz

○ Scratch

- Load Range : 10 mN ~ 30 N

- Maximum Normal Load : 30 N (Resolution : 0.01 mN)

- Maximum Length : 30 mm (with optical inspection), 1200 mm (without optical inspection)

- Maximum Depth : 1000 um (Resolution : 0.05 nm)

○ Stage

- X, Y motorized Table Range : 145 × 75 mm (Resolution : 50 nm)

- Z motorized table Range : 30 mm (Resolution : 10 nm)

○ 박막 후막 등 다양한 코팅 및 재질의 접착력 평가, Delamination, 스크레치 저항성 평가

○ LCD/PDP Display의 ITO 코팅과 같은 초박막의 접착특성 평가

○ MEMS구조물의 Young's Modulus, Internal Stress 등 측정

○ 광디스크(DVD,CD-R/RW), 마그네틱 헤드/마그네틱 테이프, Media의 물성 및 표면 마찰마모특성

○ 유리, 렌즈, 종이의 코팅접착력 평가