유도결합플라즈마질량분석기는 시료를 고주파유도코일에 의하여 형성된 아르곤플라즈마에 도입하여 용액 내에 존재하는 원소를 이온화하고, 이온화된 원소의 질량/전하수 비(m/z)를 사중극지 질량분석기를 이용하여 분리함으로써, 시료 중에 포함된 극미량(ppt~ppb 함량) 원소를 정량, 정성 분석한다. 다원소 동시분석, 넓은 농도범위 분석, 적은 간섭 효과, 낮은 검출한계, 스펙트럼이 간단하여 정성, 정량분석이 용이한 장점이 있다.