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공용장비현황

전계방사형주사전자현미경의 사진
모델명
ULRA PLUS
기기상태
사용중
담당자
이정희
E-mail
jhlee1@cbnu.ac.kr
위치
108호
전화번호
043-261-2940
제작사

원리 및 특성

시료의 표면미세구조를 분석하는 전자현미경으로 모든 in lens detector SE, BSE가 ON AXIS에 놓여 있어 모든 신호를 어떠한 변환 없이 실시간으로 획득하여 실험의 정확성을 확보할 수 있다. high angle BSE의 energy를 분리하여 이미지하고 low angle BSE를 검출하여 대상의 crystallographic information을 획득할 수 있으며 고분해능으로 이미지할 수 있다.

주요성능

Resolution : 0.8nm at 15KV, 1.6nm at 1KV

Emitter : Thermal field emission type, stability > 0.2%/h

응용분야

Voltage contrast

Edge contrast

Extrem ppm level compositional contrast

Low Loss BSE