발사된 전자빔이 시료와 충돌할때 생성되는 여러가지 신호 중 각 물질마다 발생되는 고유의 특성에너지(X-Ray)를 검출하여 시료의 화학적 성분을 알 수 있다. 따라서 분석하고자 하는 시료의 정성 및 정량분석과 원소분포도를 알 수 있다.